vecco wyko 光學輪廓儀 bruker 3d 輪廓儀 粗糙度儀 納米級 華南
實現更快，更簡便測量
自動光學傾斜測量頭
全自動X,Y, Z樣品台
自動光鏡轉塔，放大鏡，和測試光選擇
更靈活而穩定的防震
集成式充氣式防震台
高穩定度，空間節省
更強大的測量和分析
簡單明瞭，人性化的工作流程
實時自動優化測量
完整的數據分析軟件包
可定製的分析報告
測量高效
布魯克獨有的傾斜測量頭為用戶提供了極大的靈活性，實現快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結合頭部傾斜功能，布魯克這一技術實現了將觀察位置始終保持在焦平面處，為用戶實際使用時帶來了很大便利。
準確追蹤和使用的簡便性對於在不同表面上快速檢測是至關重要的，這樣在批量測試時速度也大大提高。
這一特點結合樣品台與物鏡的電動控制使得三維光學顯微鏡Contour GT-I 成為了具有較小佔地卻能同時滿足多種測試要求的測量平台。
業界最方便靈活的測量方式
除上述優點外，三維光學顯微鏡ContourGT-I通過獨有的設計直接在機臺上集成防震系統，使其直接滿足各種環境條件，包括工廠，實現迅速準確地測量。
這一經過嚴格測試的防震系統為用戶提供不折不扣的優化測試條件，從而得到重複性 的定量數據。
三維光學顯微鏡ContourGT-I為用戶在科研或生產環境下提供各類測試要求，保証優異，可計量的可靠測試結果。
| 掃描量程 |
可達10mm |
| 垂直分辨率 |
<0.01nm |
| RMS 重複性 (PSI) |
0.01nm |
| 臺階高度準確性 |
0.75% |
| 臺階高度重複性 |
<0.1% 1 sigma repeatability** |
| 掃描速度標準相機 |
73 μm/sec |
| 樣品反射率 |
0.05%-100% |
| 坡度–光滑面 |
可達40° |
| 坡度–粗糙面 |
Upto87° |
| XY樣品台 |
150mm(6in.) 自動 |
| Z調焦範圍和樣品高度 |
100mm(4in.)automated,(6in.) |
| 頭部傾斜 |
±5°自動 |
| 光學測量模塊 |
雙LED（ ）照明,單筒物鏡或轉塔，單個放大鏡或自動轉動放大鏡 |
| 物鏡 |
同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
| 長工作距離:1x,1.5x,2x,10x |
| TTM:2x,5x,10x,20x |
| 明場:5x,10x,20x,50x |
| 放大鏡 |
0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 相機 |
標配:640x480 |
| 高清(可選):1280x960 |
| 彩色(可選):640x480 |
| 軟件系統 |
基於Windows 7 64位操作系統的Vision64 分析軟件 |
| 可選軟件包 |
生產模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自動對焦; 光學分析包; 高級成像模式; 厚膜測試模式; MatLab; PSS（圖案化藍寶石襯底）測試模式 |
| 校準 |
可溯源的臺階高度標準樣 |
| 佔地 |
450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
| 可測樣品重量 |
十公斤 |
| 系統總重 |
六十公斤 |
| 保修期 |
12 個月 |
在8um及以上的臺階高度標樣上測得.
VSI模式下對10μm臺階測試重複性指標. 平均標準偏差<10nm.
