vecco wyko 光学轮廓仪 bruker 3d 轮廓仪 粗糙度仪 纳米级 华南
实现更快，更简便测量
自动光学倾斜测量头
全自动X,Y, Z样品台
自动光镜转塔，放大镜，和测试光选择
更灵活而稳定的防震
集成式充气式防震台
高稳定度，空间节省
更强大的测量和分析
简单明了，人性化的工作流程
实时自动优化测量
完整的数据分析软件包
可定制的分析报告
测量高效
布鲁克独有的倾斜测量头为用户提供了极大的灵活性，实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能，布鲁克这一技术实现了将观察位置始终保持在焦平面处，为用户实际使用时带来了很大便利。
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的，这样在批量测试时速度也大大提高。
这一特点结合样品台与物镜的电动控制使得三维光学显微镜Contour GT-I 成为了具有较小占地却能同时满足多种测试要求的测量平台。
业界最方便灵活的测量方式
除上述优点外，三维光学显微镜ContourGT-I通过独有的设计直接在机台上集成防震系统，使其直接满足各种环境条件，包括工厂，实现迅速准确地测量。
这一经过严格测试的防震系统为用户提供不折不扣的优化测试条件，从而得到重复性 的定量数据。
三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求，保证优异，可计量的可靠测试结果。
| 扫描量程 |
可达10mm |
| 垂直分辨率 |
<0.01nm |
| RMS 重复性 (PSI) |
0.01nm |
| 台阶高度准确性 |
0.75% |
| 台阶高度重复性 |
<0.1% 1 sigma repeatability** |
| 扫描速度标准相机 |
73 μm/sec |
| 样品反射率 |
0.05%-100% |
| 坡度–光滑面 |
可达40° |
| 坡度–粗糙面 |
Upto87° |
| XY样品台 |
150mm(6in.) 自动 |
| Z调焦范围和样品高度 |
100mm(4in.)automated,(6in.) |
| 头部倾斜 |
±5°自动 |
| 光学测量模块 |
双LED（ ）照明,单筒物镜或转塔，单个放大镜或自动转动放大镜 |
| 物镜 |
同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
| 长工作距离:1x,1.5x,2x,10x |
| TTM:2x,5x,10x,20x |
| 明场:5x,10x,20x,50x |
| 放大镜 |
0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 相机 |
标配:640x480 |
| 高清(可选):1280x960 |
| 彩色(可选):640x480 |
| 软件系统 |
基于Windows 7 64位操作系统的Vision64 分析软件 |
| 可选软件包 |
生产模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS（图案化蓝宝石衬底）测试模式 |
| 校准 |
可溯源的台阶高度标准样 |
| 占地 |
450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
| 可测样品重量 |
十公斤 |
| 系统总重 |
六十公斤 |
| 保修期 |
12 个月 |
在8um及以上的台阶高度标样上测得.
VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm.
